要正確區(qū)分超純水機與純水機，就需要從超純水與純水的本質(zhì)區(qū)別探討，所謂的超純水即是：UP水，是指電阻率達到18 MΩ*cm（25℃）的水。這種水中除了水分子外，幾乎沒有什么雜質(zhì)，更沒有細菌、病毒、含氯二噁英等有機物，當然也沒有人體所需的礦物質(zhì)微量元素，也就是幾乎去除氧和氫以外所有原子的水。而純水指的是：不含雜質(zhì)的H2O，從學(xué)術(shù)角度講，純水又名高純水，是指化學(xué)純度極高的水。

超純水較純水來說，其本身的純度屬于極為精純，多到過濾系統(tǒng)使得水中的離子物質(zhì)、有機物、無機物、微生物等物質(zhì)含量都降到了極低的程度，純水則是使用符合生活飲用水衛(wèi)生標準的水為原水，通過電滲析器法、離子交換器法、反滲透法、蒸餾法及其他適當?shù)募庸し椒?，制得的密封于容器?nèi)，且不含任何添加物，無色透明，可直接飲用的水。

超純水機是在純水機上的升華，即超純水是在純水的基礎(chǔ)上進一步將水中的導(dǎo)電介質(zhì)幾乎完全去除，又將水中不離解的膠體物質(zhì)、氣體及有機物均去除至很低程度的水。電阻率大于18MΩ*cm，或接近18.25MΩ*cm極限值。超純水是一般工藝很難達到的程度，可以將微濾技術(shù)、超濾技術(shù)、反滲透技術(shù)、EDI技術(shù)，離子交換技術(shù)中的兩種及以上的技術(shù)，通過合理的工藝設(shè)計，設(shè)備選型，方可制造出超純水，電阻率可達18.20MΩ*cm。